先做厚一点的单层(越厚越好),测分光曲线。 "IJ1b~j?
然后用麦克劳德或者TFC算折射率。 AGwdM-$iT
算出来的折射率再用来做设计。 I%[Tosud<
然后自己再根据实际曲线慢慢修。 pox;NdX7
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我以前做的380~800 反射率不超过0.3%。 -;
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设计是8层TiO2/SiO2,是一个W型的曲线。 nWf8r8
我的经验是TIO2折射率越高开口越宽,越好做。 "tmu23xQ
但是折射率高的话,就需要用到好的离子源。 v'`qn
光驰机或者新柯隆机应该能做出来。 sy(bL_%