先做厚一点的单层(越厚越好),测分光曲线。 8pXfT%]
然后用麦克劳德或者TFC算折射率。 yQu vW$
算出来的折射率再用来做设计。 z`\#$
然后自己再根据实际曲线慢慢修。 ,3G$`
i0ILb/LS
我以前做的380~800 反射率不超过0.3%。 X tJswxw`K
设计是8层TiO2/SiO2,是一个W型的曲线。 "F&Tnhh4
我的经验是TIO2折射率越高开口越宽,越好做。 q:xtm?'$
但是折射率高的话,就需要用到好的离子源。 V8-4>H}Cb/
光驰机或者新柯隆机应该能做出来。 Rb{+Ki