先做厚一点的单层(越厚越好),测分光曲线。 ieFl4hh[G
然后用麦克劳德或者TFC算折射率。 nlwqS Xw
算出来的折射率再用来做设计。 vADiW~^Q^
然后自己再根据实际曲线慢慢修。 c$O8Rhx
:?>7Z6
我以前做的380~800 反射率不超过0.3%。 [_,as
设计是8层TiO2/SiO2,是一个W型的曲线。 ^"WVE["
我的经验是TIO2折射率越高开口越宽,越好做。 e-nA>v
但是折射率高的话,就需要用到好的离子源。 3v/B*M VI
光驰机或者新柯隆机应该能做出来。 \^x{NV@v42