先做厚一点的单层(越厚越好),测分光曲线。 dG&^M".(
然后用麦克劳德或者TFC算折射率。 ES-V'[+jDy
算出来的折射率再用来做设计。 5{/uHscwLa
然后自己再根据实际曲线慢慢修。 )]}G8A
y1{TVpN
我以前做的380~800 反射率不超过0.3%。 6am
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设计是8层TiO2/SiO2,是一个W型的曲线。 ZnKjU ]m
我的经验是TIO2折射率越高开口越宽,越好做。 XHU\;TF
但是折射率高的话,就需要用到好的离子源。 3rVfBz
光驰机或者新柯隆机应该能做出来。 vtq$@#?~ b