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    [分享]一种便携式光学表面轮廓仪 [复制链接]

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    离线ttb2016
    技术专家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2016-06-02
    关键词： 光学轮廓仪
    一种便携式光学表面轮廓仪，需要的下载。 &sp7YkaW  
    Xz'pZ*Hr$v  
    摘要：研究了一种基于短相干光相移干涉法的便携式光学表面轮廓仪，分析了短相干光干涉显微镜相移干涉技术，实现了基于该项技术的光干涉显微系统。采用光路集成化的设计方法，实现了一体化轮廓仪光路集成，优化了机械三维调整测量台，实现了可用于大、小口径元件表面测量的正置、倒置两种测量模式。测试结果表明，仪器的粗糙度测量精度为0.1 nm，重复性误差优于0.01 nm，横向分辨率优于1μm。
    附件: 一种便携式光学表面轮廓仪.rar (3614 K) 下载次数:54 ，售价:2光币[记录]
    共1条评分 ，光币+10
    cyqdesign 光币 +10 - 2016-06-02
     
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    离线jsdyf
    高级工程师
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    只看该作者 1楼 发表于: 2018-08-31
    好资料，下载学习下
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    离线liqiuguo
    技术员
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    只看该作者 2楼 发表于: 2019-05-24
    真是太感谢了真是太感谢了
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    离线不行就随便
    实习生
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    只看该作者 3楼 发表于: 2020-09-27
    先下后看，怎么不能出一个预览功能啊
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    离线lqqmuc2009
    实习生
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    只看该作者 4楼 发表于: 2021-05-28
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