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    [分享]一种便携式光学表面轮廓仪 [复制链接]

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    离线ttb2016
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2016-06-02
    关键词: 光学轮廓仪
    一种便携式光学表面轮廓仪,需要的下载 0RGqpJxk  
    5-.{RU=  
    摘要:研究了一种基于短相干光相移干涉法的便携式光学表面轮廓仪,分析了短相干光干涉显微镜相移干涉技术,实现了基于该项技术的光干涉显微系统。采用光路集成化的设计方法,实现了一体化轮廓仪光路集成,优化机械三维调整测量台,实现了可用于大、小口径元件表面测量的正置、倒置两种测量模式。测试结果表明,仪器的粗糙度测量精度为0.1 nm,重复性误差优于0.01 nm,横向分辨率优于1μm。
    附件: 一种便携式光学表面轮廓仪.rar (3614 K) 下载次数:54 ,售价:2光币[记录]
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    cyqdesign 光币 +10 - 2016-06-02
     
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    离线jsdyf
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    只看该作者 1楼 发表于: 2018-08-31
    好资料,下载学习下
    离线liqiuguo
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    只看该作者 2楼 发表于: 2019-05-24
    真是太感谢了真是太感谢了
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    只看该作者 3楼 发表于: 2020-09-27
    先下后看,怎么不能出一个预览功能啊
    离线lqqmuc2009
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    只看该作者 4楼 发表于: 2021-05-28
    需要中