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[分享]大口径高精度斐索干涉仪球面参考镜设计 [复制链接]

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离线寒夜

高级工程师

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只看楼主正序阅读楼主发表于: 2016-03-13

关键词：口径精度干涉仪

大口径高精度斐索干涉仪球面参考镜设计.PDF，需要的下载！

摘要：设计了一款口径为30.48cm高精度斐索激光干涉仪参考镜，其犉数为0.82，参考面半径为224.99mm。所设计的参考镜其透射波前峰谷值为0.095λ，均方根值为0.028λ，透射波前斜率最大值为11μrad 。理论分析了参考镜的回程误差对面形检测精度的影响，其最大值为0.29nm。利用Zemax光学设计软件对参考镜进行了仿真分析，仿真与实验结果表明，该标准镜头可满足精度1nm的元件面形检测需求。