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    [求助]关于ar膜温飘 [复制链接]

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    离线hyping518
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2015-12-26
    镀膜完成后放置两天。出现温飘较为严重的现象。除了设计时移薄还有什么方法解决
     
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    离线yzhuang
    论坛版主
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    只看该作者 1楼 发表于: 2016-01-03
    加离子源，镀膜基底温度升高
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    离线luffy17520
    技术员
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    只看该作者 2楼 发表于: 2016-01-04
    以前基本也遇到过 #O|lfl>}  
    然后把要求的余量做大就好了，基本是要求基础上的+/-30nm左右即可，不关均匀性或者温飘情况下都能保证满足要求啊 >UN vkQ:  
    控制好镀膜环境 AN10U;p/O  
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