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    [讨论]Ag膜工艺交流 [复制链接]

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    离线shuaijiangbo
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2015-10-17
    哪位大神指点一下银反射膜怎么镀?
     
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    离线知识乞丐
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    只看该作者 12楼 发表于: 2016-09-17
    最关键的是算准膜材的折射率,这样设计起来就事
    离线luffy17520
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    只看该作者 11楼 发表于: 2016-01-04
    常温,真空度进10-4pa或者10-6Torr,镀前轰击5分钟, x %W%  
    膜系AL2O3 20nm/AG 120nm左右 有监控的话可以看看/AL2O312nm左右/SIO2  120nm左右 V3(8?Fz.  
    如果对400nm左右的反射率没有太高要求可以这么做 J,:Wv`N:9~  
    有要求可以适当调整最后两层, .z[#j]k  
    镀前保持真空室清洁,基片擦拭干净,
    离线yzhuang
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    只看该作者 10楼 发表于: 2016-01-03
    铬吸收厉害,肯定不行,除非你是要不透,不管反射
    离线sgh920
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    只看该作者 9楼 发表于: 2015-12-11
    打铬底行吗?
    离线聂凯
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    只看该作者 8楼 发表于: 2015-11-16
    温度40°,真空2.0X10-3pa,镀前离子源轰击5分钟,若真空室温度上升需带降温后镀膜,基层AL2O3镀20nm,AG,AL2O3/30NM,SIO2/150NM,OK,供参考!
    离线波哥
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    只看该作者 7楼 发表于: 2015-11-07
    收藏,涨见识。
    离线yzhuang
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    只看该作者 6楼 发表于: 2015-11-04
    我是50度以下
    离线shuaijiangbo
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    只看该作者 5楼 发表于: 2015-10-20
    怎么镀,请指教
    离线yzhuang
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    只看该作者 4楼 发表于: 2015-10-20
    80度太高,银会发雾