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    [讨论]Ag膜工艺交流 [复制链接]

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    离线yzhuang
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    只看该作者 10楼 发表于: 2016-01-03
    铬吸收厉害，肯定不行，除非你是要不透，不管反射
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    离线luffy17520
    技术员
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    只看该作者 11楼 发表于: 2016-01-04
    常温，真空度进10-4pa或者10-6Torr，镀前轰击5分钟， (Y86q\DQ?|  
    膜系AL2O3 20nm/AG 120nm左右 有监控的话可以看看/AL2O312nm左右/SIO2  120nm左右 mb/Y  
    如果对400nm左右的反射率没有太高要求可以这么做 LdL< 5Q[  
    有要求可以适当调整最后两层， G9jtL$}E<  
    镀前保持真空室清洁，基片擦拭干净，
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    离线知识乞丐
    实习生
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    只看该作者 12楼 发表于: 2016-09-17
    最关键的是算准膜材的折射率，这样设计起来就事
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