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[求助]请教一个减反射薄膜设计 [复制链接]

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离线hhp409

实习生

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只看楼主倒序阅读楼主发表于: 2015-10-09

已知基板为硅片折射率为3.85，从基板到外界空气依次为：5nm厚的二氧化硅层、2层不同折射率和厚度的氮化硅薄膜、空气，第一层氮化硅，其厚度为d1（具体数值待定），折射率为n3（折射率在2.0-2.5之间可调，可取其任意值，具体数值待定），第二层氮化硅，其厚度为d2（具体数值待定），折射率为n4（折射率在2.0-2.5之间可调，可取其任意值，具体数值待定），且d1+d2=75nm，要求在300-1100nm的整个太阳光谱反射率最低，请问：n3、n4、d1和d2值是多少才能达到最佳？谢谢！