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请教一个减反射薄膜设计
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hhp409
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发表于: 2015-10-09
已知基板为硅片
折射率
为3.85,从基板到外界空气依次为:5nm厚的二氧化硅层、2层不同折射率和厚度的氮化硅
薄膜
、空气,第一层氮化硅,其厚度为d1(具体数值待定),折射率为n3(折射率在2.0-2.5之间可调,可取其任意值,具体数值待定),第二层氮化硅,其厚度为d2(具体数值待定),折射率为n4(折射率在2.0-2.5之间可调,可取其任意值,具体数值待定),且d1+d2=75nm,要求在300-1100nm的整个太阳
光谱
反射率最低,请问:n3、n4、d1和d2值是多少才能达到最佳?谢谢!
(EX
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huangweipeng
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发表于: 2018-05-02
好复杂,看不懂,等大神
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opticsrain
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2楼
发表于: 2019-04-29
这几层都是基板吗,如果是这样的话,要先对基板做一个椭偏仪分析,确认基板上几层膜的具体厚度和折射率之后,在做膜设计。
pqe**`z@y
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