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    [求助]镀膜工艺 [复制链接]

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    离线liuzhonghua
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2015-09-11
    怎么算tooling值和怎么计算材料折射率,请教各路大神!
     
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    只看该作者 1楼 发表于: 2015-09-16
    我也想知道这个
    离线chlxml2010
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    只看该作者 2楼 发表于: 2015-11-03
    同求........大神现身
    离线波哥
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    只看该作者 3楼 发表于: 2015-11-07
    同问同问,第我知道了告诉你。 \6~(# y  
    离线聂凯
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    只看该作者 4楼 发表于: 2015-11-16
    这个不是一两句话说的清楚的,告诉你一个大概方向吧:TOOLING值可以是100%,也可是通过实验计算得出,其实就是实际与设备的误差,这个自己多专研多实验可以得出。材料的折射率简单一点有两种方法:第一种是单点的,是通过实验得出单点反射透过值,通过公式计算得出的,第二种是波段范围内的(例如400-1200nm范围内的)这个需要做3-7个极值的厚度,测出反射及透过的值,然后导入麦克劳德得出,希望能帮到你。
    离线知识乞丐
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    只看该作者 5楼 发表于: 2016-09-17
    最关键的是算准膜材的折射率,这样设计起
    离线tony肖
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    只看该作者 6楼 发表于: 2021-06-30
    这个自己多专研多实验可以得出
    离线dongaoyun123
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    只看该作者 7楼 发表于: 2021-07-01
    直接使用椭偏仪测试
    离线quan6658
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    只看该作者 8楼 发表于: 2021-07-06
    先把TOOLing值设定100%,然后镀该材料200nm(厚度可自定),镀完用测试膜效,结果导入TFC,模拟出实际的镀膜厚度,tooling值=实际厚度/设计厚度*100%
    离线quan6658
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    只看该作者 9楼 发表于: 2021-07-06
    回 quan6658 的帖子
    quan6658:先把TOOLing值设定100%,然后镀该材料200nm(厚度可自定),镀完用测试膜效,结果导入TFC,模拟出实际的镀膜厚度,tooling值=实际厚度/设计厚度*100% (2021-07-06 22:20)  6.uyY@Yx  
    2.xA' \M  
    说反了,是设计厚度/实际厚度,不过做TOOLING值计算之前先要做好折射率N值的计算