yzhuang:主要是精度及稳定性好不好?
(2015-08-19 14:01) (`R
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itcM-? 原理上来说晶控仪控制精度、稳定性及重复性均建立于对晶振片谐振频率的实时准确获取上。
`BaJ >%| 此参数在说明书中有提及,并不逊色于所谓进口仪器,实际比对也是如此。
Pu 'NSNT ;q#Pl!*5 实际中以成膜结果最有说服力。
_ D"S 用户用我司晶控仪做各类滤光片,可算作印证。也有替代多款进口晶控仪。
:b!&Xw$ 如有兴趣可以去我司网站,有典型用户链接,也欢迎实地验证。
Xo6zeLHO ZmJ<FF4 在厚度控制精度问题上,我司有发明专利一篇(申请了近2年,证书刚下来)。有兴趣可以去查一下。