前边已经介绍过一些diffuser,splitter和shaper的设计方法,在元件设计好并加工的时候会出现加工公差,因此如何模拟实际的二元光学元件(DOE),在本例中给出了模拟方法。 0zL7$Q#c
VirtualLab中有一种界面叫做组合界面(combined interface),可以将两种(或多种)界面的轮廓数值叠加,即平面上每个坐标(x,y)对应的高度值H1(x,y)描述面1,H2(x,y)描述面2,则H1(x,y)+H2(x,y)即为新组合界面的轮廓H(x,y)。 `X =2Ff
`akbzHOM
因此H1(x,y)作为初始界面(如本例中的设计好的非球面),H2(x,y)作为加工公差。其中加工公差的数据导入需要注意导入过程中的采样间距及单位(在导入界面中需选择length)。 LK?V`J5wY
通过衍射评价函数这个探测器可以探测导入公差前后的一致性误差,信噪比,窗口效率及转换效率,加工公差导入之后,后两个参数变化不大,但是一致性误差变化非常大,信噪比也几乎减小一倍。 ,pg\5b