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    [求助]关于镀膜的厚度测量 [复制链接]

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    离线jean5320
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2006-09-05
    哪位大哥能告诉小弟,用什么样的仪器可以测量镀膜后,膜的厚度?
     
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    离线xiaoqu01
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    只看该作者 1楼 发表于: 2006-09-06
    用台阶仪 能到10-9
    离线jean5320
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    只看该作者 2楼 发表于: 2006-09-07
    我靠,多谢大哥了
    离线mangovc
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    只看该作者 3楼 发表于: 2006-09-09
    可以PE,椭偏仪等都可以啊
    离线fzjbly
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    只看该作者 4楼 发表于: 2006-09-11
    专业提供各种激光器,高分辨率通用光谱仪系列,各种探测器,科学及ccd,微弱信号检测仪器 u ,3B[  
    先锋科技股份有限公司   方正军 uCr& `  
    北京市海淀区知春路118号知春大厦A0803室   -y|J_;EG  
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    E-mail: wilson-fang@teo.com.cn
    离线ttphead
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    只看该作者 5楼 发表于: 2007-08-08
    这个,方法太多了,看你镀的哪种材料,大概镀多厚,不能一概而论
    离线tsjbird
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    只看该作者 6楼 发表于: 2007-08-20
    使用荷兰Avantes光纤光谱仪,利用白光干涉原理,测量膜厚范围10nm到50um,分辨率可以达到1nm 4Y?2u  
    感兴趣的话可以到网站看一下,www.avantes.com.cn
    离线王少伟
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    只看该作者 7楼 发表于: 2020-03-04
    膜厚仪,FTPadvaced