球面平凸透镜镀增透膜,透镜直径36mm, 曲率半径173mm, R<0.5 @1550+/- 40nm, 膜料Ta2O5 + SiO2,烘烤温度250,成都南光机。 M1Ff ,]w
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相同的镀膜参数, 镀10批次有1-2批次出现大比例膜层色斑,有时刚镀完取出没有色斑放置2天后出现色斑,有时刚镀完有色斑放置几天后色斑减淡或消失。 出现色斑批次的光谱曲线和膜层牢固度都正常。 ?!U.o1
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已排除了基片本身污染,真空腔内污染,离子源和膜料问题。 1uN;JN
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请问导致膜层色斑的可能原因还有哪些?