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大口径光学元件微纳加工与检测技术研究与应用.pdf
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大口径光学元件微纳加工与检测技术研究与应用.pdf
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发表于: 2014-11-15
关键词:
光学元件
微纳加工
口径
大
口径
光学
元件
微纳加工
与检测技术研究与应用.pdf,下吧。
>*bvw~y,
WJi]t9 3
摘要:超精密金刚石砂轮磨削是大口径先进
光学元件
微纳加工的主要技术,是实现确定性批量加工的重要保证,以实现高
精度
、高效率、高自动化程度加工为目的,阐述了大口径光学元件微纳加工与检测的加工技术
系统
,详细分析高精度加工
设备
及
工艺
控制、大尺寸检测、加工环境监控、快速
抛光
、表面织构化等研究应用情况。
PCA4k.,T
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大口径光学元件微纳加工与检测技术研究与应用.rar
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