切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 25912阅读
    • 29回复

    [求助]为什么zemax最后的弥散斑大小比艾里斑还小? [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线violet1001
    发帖
    114
    光币
    6
    光券
    0
    只看该作者 20楼 发表于: 2014-11-28
    学习了
    离线zhyp2010whu
    发帖
    137
    光币
    1669
    光券
    0
    只看该作者 21楼 发表于: 2014-12-01
    学习了,谢谢!
    离线wtyssg
    发帖
    667
    光币
    1694
    光券
    0
    只看该作者 22楼 发表于: 2014-12-02
    实际成像结果不可能小于艾里斑,这是由光学系统孔径决定的
    离线狐狸安宁
    发帖
    56
    光币
    28
    光券
    0
    只看该作者 23楼 发表于: 2016-03-30
    回 ds1234567 的帖子
    ds1234567:突破衍射极限是的难题,从光刻镜头设计思路可见,为了使光斑变小一方面减小波长,另一方面增大相对孔径。
     (2014-11-26 19:28)  &"gQrBa  
    l/i7<q  
    镜头是不可能突破衍射极限的,优化只能减少几何像差,但是不会改变衍射。光刻物镜的设计思路目的不是为了突破衍射极限,是为了通过改变设计指标,比如F#和波长减小艾里斑半径,即减小衍射效应对像质的影响。高分辨率的镜头是衍射受限的,因为几何像差已经平衡的很好。低质量的镜头是几何受限的。
    离线狐狸安宁
    发帖
    56
    光币
    28
    光券
    0
    只看该作者 24楼 发表于: 2016-03-30
    回 ds1234567 的帖子
    ds1234567:好友有一个顶级的国外镜头,让我看看,我就遇到像质可不可以超过衍射问题。假设衍射极限定在第一级环上,那是瑞利判断准则,这个准则要求低些,镜头的极限分辨率在F=5.6时,达到280lp/mm +t7n6  
    瑞利判断是:1/1.22λF,如果波长取555.0nm,F5.6时,则截止频率为263.73 lp/mm,当时波长用 .. (2014-11-21 11:09)  3/s" ;Kg,  
    RQO&F$R=  
    镜头极限分辨率不会超过衍射极限,你的截止频率为263.73 lp/mm的计算好像不太准。艾里斑半径是1.22lamda/D,但传函截至频率不是1/(1.22lamda*F#),而是1/(lamda*F#)。这个我也没想明白为什么,你要想明白的话教我。
    离线狐狸安宁
    发帖
    56
    光币
    28
    光券
    0
    只看该作者 25楼 发表于: 2016-03-30
    点图rms radius可能小于艾里斑radius的,但实际的光斑分布肯定是比衍射极限下的光斑分布更分散的。之所以会有这种情况,可能是跟zemax中光斑radius的定义(能量分布占百分比)有关系。另外点图貌似是不考虑衍射效应的,在镜头已经优化的接近衍射极限时可能不适用?不清楚。你看下衍射MTF图,衍射极限MTF曲线肯定比实际MTF曲线高 v[XTH 2  
    离线ds1234567
    发帖
    633
    光币
    107
    光券
    0
    只看该作者 26楼 发表于: 2016-05-10
    我不会出错。倒是国标有错,GB11168-1989 光学系统λ像质测试方法,附录A(第11页)“λ=0.550um;而无限远成像系统 1/(1.22λF)=1477/F ” 1/1.22*0.00055=1490 lp/mm,只有1/1.22*0.000555=1477 lp/mm,实际检测操作上,根本没有这个波长的单色光。 l|j}Ggen  
    1/(1.22*0.000555*5.6)=263.73 %U?1Gf e  
    你看一看05版,F=5.6的截止频率,系数为1,我不知道为什么。北理的李林把系数 1.22  、1.02、 0.947都讲了,没说1。
    发帖
    11
    光币
    12
    光券
    0
    只看该作者 27楼 发表于: 2019-02-18
    我认为实际光斑最后要大于艾里斑,因为艾里斑仅仅是物理光学产生的像差,而实际系统肯定会有几何光学产生的几何像差的,这样光斑肯定会变更大一点
    发帖
    11
    光币
    12
    光券
    0
    只看该作者 28楼 发表于: 2019-02-18
    衍射极限我认为突破不了,因为它是物理性质决定的,是肯定会存在的,既然存在就不会突破
    离线jankin
    发帖
    10
    光币
    13
    光券
    0
    只看该作者 29楼 发表于: 2020-04-29
    艾里斑是只考虑衍射的影响 L%HFsuIO-  
    RMS是只考虑几何像差的影响