非球面
光学零件广泛应用于航空机载设备(雷达测距仪)、卫星(先进的光学望远系统、高分辨率的电视摄像系统、高灵敏度的红外传感系统)、
激光制导、红外探测等领域，同时在民用光电产品上的应用更为广泛．
c[VVCN8dA 1非球面光学零件的延性方式磨削技术
~(aMKB 1．1延性方式磨削技术
XNbeYj 最近，短
波长光学，特别是 x射线光学领域中的研究活动表明， x射线领域的光学元件多采用非球面，并要求零件的形状
精度达到纳米级，表面粗糙度达到埃级，而且越来越多的使用硬脆性材料。这些零件的传统加工方法是磨削加工后，经过研磨、抛光工序，精加工成所需零件，这种方法的生产效率低，加工周期长，不能适应现代生产的需要。作为光学零件的加工，一方面要求精度高，加工表面超光滑，另一方面又要求加工表面没有加工变质层。在这种需求下，就产生了硬脆材料的延性方式磨削，成为超精密加工的一个热点。
e7tp4M9!% 本部分内容设定了隐藏，需要回复后才能看到
O?,Grn%'. SzXR],dA (摘自《超精密加工与测控技术论文集》1999年第12期 杨福兴 超精密加工技术国防科技重点实验室
