高精密仪器与设备的发展进步，对我国未来科学技术的发展具有重要意义，而精密光学元件的加工，往往是生产此类仪器与设备的核心技术。随着高精密仪器与设备的快速发展，光学元件面形误差的要求也越来越严苛。传统的面形检测设备，如迈克尔逊干涉仪、斐索球面干涉仪，其参考波面由参考元件反射形成，检测精度必然受制于参考元件的面形精度，很难满足超高精度面形检测的要求。本文研究的点衍射干涉仪检测技术，结构简单，采用针-孔衍射产生参考波，从而摆脱了参考元件面形对检测精度的限制，极大地减少了系统误差，是超高精度检测新的发展方向。本论文的主要工作任务是研究点衍射干涉仪检测技术的关键理论与技术问题，进一步发展应用于面形测量的点衍射干涉检测技术。
