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    [求助]镜头畸变与偏心 [复制链接]

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    离线rzyp
    助理工程师
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2014-06-30
    最近在调试光刻镜头中碰到一个问题，就是光刻物镜对DMD（数字为反射镜）阵列面成像，在调试过程中发现镜头的畸变已经调的比较好，按道理讲DMD像面是没有形变的，但是实际发现即使畸变调整得很好，还是会出现整个DMD像面的某一个角凸出或者凹下，请问这种情况是由于镜头的偏心造成的吗？还是有其他原因！请教各路高手指点！
     
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    离线yu-xuegang
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    只看该作者 1楼 发表于: 2014-07-01
    DMD是不是和 的光轴不垂直？
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    离线948283700
    实习生
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    只看该作者 2楼 发表于: 2014-07-01
    打酱油
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    离线rzyp
    助理工程师
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    只看该作者 3楼 发表于: 2014-07-09
    回 yu-xuegang 的帖子
    yu-xuegang:DMD是不是和 的光轴不垂直？ (2014-07-01 12:35)  )PZ}^Fa  
    &oEq&  
    一般来说是不垂 直的，因为在调试过程中基本上没有办法判断，但是即使不垂直偏差也不会太大，因为DMD是安装在机械加工件上（平面度很好）
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