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    [求助]初学膜系设计,求推荐相关书籍。 [复制链接]

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    离线雨雪霏霏
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2014-06-26
    求推荐一本比较好的膜系设计的书,本人主攻深紫外光刻物镜中的膜系设计。
     
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    离线morningtech
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    只看该作者 1楼 发表于: 2014-06-27
    1. 可以看看macleod的,<Thin-Film Optical Filters>,网上曾有过第2版原版的pdf.    第1版的,有中文版,周九林、尹树百译,网上有 pdf 的。或可看看浙大唐、顾的 <薄膜光学与技术>,顾的<光学薄膜技术?>。偶早期看到的是后3者。 这些都可称经典。 : SNp"|  
    这几年有新作出来,没有细读。 e=U7w7(s9  
    注意: 浙大出版社   刘旭、王、易, 翻译<光学干涉薄膜>不是系统介绍光学薄膜原理的,而是文集。  6O}r4*  
    因光学薄膜的基本理论已完善,所以设计方面的书经典就够用了。 yI!K quMC  
    2. 光学薄膜的设计软件也已经有很多,网上能找到 一些。 z|Xl%8  
    离线雨雪霏霏
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    只看该作者 2楼 发表于: 2014-06-28
    回 morningtech 的帖子
    morningtech:1. 可以看看macleod的,<Thin-Film Optical Filters>,网上曾有过第2版原版的pdf.    第1版的,有中文版,周九林、尹树百译,网上有 pdf 的。或可看看浙大唐、顾的 <薄膜光学与技术>,顾的<光学薄膜技术?>。偶早期看到的是后3者。 这些都可 .. (2014-06-27 08:54)  $Uzc  
    Lm8 cY  
    xiexie
    离线zhangyuqian1
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    只看该作者 3楼 发表于: 2014-06-29
    光学薄膜技术
    离线yzhuang
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    只看该作者 4楼 发表于: 2014-07-01
    教材都大同小异,就浙大的唐晋发编的《光学薄膜技术》就可以了
    离线刁和刃
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    只看该作者 5楼 发表于: 2014-08-25
    谁能给我一份啊
    离线星河灿烂
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    只看该作者 6楼 发表于: 2014-08-26
    正在看macleod
    离线知识乞丐
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    只看该作者 7楼 发表于: 2016-09-17
    最关键的是算准膜材的折射率,这样设计起来就事半功倍了
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    只看该作者 8楼 发表于: 2017-08-31
    回 雨雪霏霏 的帖子
    雨雪霏霏:xiexie (2014-06-28 17:15)  +3!um  
    JO1KkIV  
    我也组要