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    [求助]镀膜粉尘问题 [复制链接]

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    离线光明世界
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2014-05-28
    镀膜粉尘来源: U~s&}M\n  
    iRPt0?$  
    1.来自抽气时造成扬尘。 '<^%> R2  
    #hH"g  
    2.来自泄气时造成扬尘。 kbI:}b7H  
    0>)('Kv  
    有什么能够改善。特别是镀塑料的东西,镀膜后又没用清洗。头疼
     
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    离线hrhhrh
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    只看该作者 1楼 发表于: 2014-06-03
    1.清洁真空室 5dXC  
    2.改排气 L @_IGH  
    3.改进气
    离线leehow534
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    只看该作者 2楼 发表于: 2014-06-04
    SRV,SVV时间加长可有效改善。 _Su? VxU  
    另,你的盒子干净否?
    离线yangyangyang
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    只看该作者 3楼 发表于: 2014-06-17
    1,产品上镀前用静电枪除尘 "]f0wLzh  
    2,对腔室护板进行清洁或更换 1 xm8w$%  
    3,电子枪或阻蒸进行清洁 0V uG(O  
    4,设备加装离子源(霍尔R2型,或APS都行,关键看你做的产品工艺及客户要求,要求不高国内的离子源也可以) nr Jl>H  
    5,检查你们的无尘室洁净度是不是真的在控制范围内 m*6C *M  
    6,检查你下面的作业人员,无尘服是不是很脏 lM3UjR|@  
    离线meron
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    只看该作者 4楼 发表于: 2015-05-06
    学习了,谢谢各位