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    [求助]机器没喝酒，速率怎么会这么呢？ [复制链接]

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    离线leehow534
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2013-12-26
    SIO2+OS50 7层，二面，每面镀第一层SIO2就会出现这样的情况，求高手赐教！ ~;3yjO)l?)  
    } Bf@69  
    DjM*U52Yfj  
     
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    离线lzh123
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    只看该作者 1楼 发表于: 2014-08-08
    可以尝试何修改一下PID    
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    离线知识乞丐
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    只看该作者 2楼 发表于: 2016-09-17
    最关键的是算准膜材的折射率，这样设计起来就事半功倍
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    离线古书生
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    只看该作者 3楼 发表于: 2017-04-13
    SIO2的预熔设置不合理，光斑不合理！也可能EB有问题，光斑某一电流有闪烁！ ` IVQ  
    你这是什么设备的镀膜程序，没见过
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    离线古书生
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    只看该作者 4楼 发表于: 2017-04-13
    昭和正空的吗？好像有年头的设备了
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    离线囊中蓄乾坤
    助理工程师
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    只看该作者 5楼 发表于: 2017-06-22
    学习    学习
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    离线johnyu
    技术员
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    只看该作者 6楼 发表于: 2017-08-09
    這是SHOWA的機台。 "U9e)a0v  
    <YCjo[(~  
    你這是crystal control嗎? `$"{-  
    un\o&0}  
    是的話換一顆石英震盪片吧
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    离线opticsrain
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    只看该作者 7楼 发表于: 2019-04-13
    感觉是预蒸时间不够。
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    离线王少伟
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    只看该作者 8楼 发表于: 2020-03-07
    预熔、电子枪光斑、真空度、充气流量、晶振片都是影响因素，挨个排查
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