luffy17520:设计镀100nm 实际只有80nm 那就镀少了,tooling=100/80
(2020-03-19 16:09)
!<@J6??a}s
]uL+&(cr 晶控仪比例因子(tooling)定义中,分子分母很容易记混。
{U!St@ 定义
O;Y:uHf T = 样品膜层厚度/晶控膜层厚度 * 100%
Q/>L_S 修正时
I8Vb-YeS T2 = T1 * 样品膜层厚度/设计厚度
q~K(]Ya/ 9 t
n!t 呵呵,膜林晶控仪把这两个式子印在材料参数的比例因子(tooling)旁边,提醒。
iX{G]< n B#%;Qc 另一个容易记混的,调大比例值,样品膜层厚度会变薄 不是变厚,其实代入式子2就会知道。
~`#-d ^s: 反过来说,
KGHq rc 如果发现波长长了,即样品膜层厚了,比例要调大(如果仅仅是比例因子的问题的话)。
l7[7_iB&E 如果发现波长短了, 薄 小 。