luffy17520:设计镀100nm 实际只有80nm 那就镀少了，tooling=100/80
(2020-03-19 16:09) 
(L4llZ;q
[ p,]/ ^ N 晶控仪比例因子(tooling)定义中，分子分母很容易记混。
1d+Kn Jy 定义
C+t3a@&| T = 样品膜层厚度/晶控膜层厚度 * 100%
afHRy:<+% 修正时
e=h-}XRC T2 = T1 * 样品膜层厚度/设计厚度
T\Xf0|y FWeUZI+ 呵呵，膜林晶控仪把这两个式子印在材料参数的比例因子（tooling）旁边，提醒。
7l-MV n_8 "Ai\NC 另一个容易记混的，调大比例值，样品膜层厚度会变薄 不是变厚，其实代入式子2就会知道。
-flcB|I` 反过来说，
|in >`:qk 如果发现波长长了，即样品膜层厚了，比例要调大（如果仅仅是比例因子的问题的话）。
]0<K^OIY 如果发现波长短了， 薄 小 。
