luffy17520:设计镀100nm 实际只有80nm 那就镀少了,tooling=100/80
(2020-03-19 16:09)
DTH;d-Z
{p=`"H> 晶控仪比例因子(tooling)定义中,分子分母很容易记混。
J7c(qGJI2 定义
3E)
X(WJY T = 样品膜层厚度/晶控膜层厚度 * 100%
ZvM~]8m 修正时
1-.6psE T2 = T1 * 样品膜层厚度/设计厚度
7vF+Di(B K!=Y4"5% 呵呵,膜林晶控仪把这两个式子印在材料参数的比例因子(tooling)旁边,提醒。
lpvZ[^G *QH@c3vUe\ 另一个容易记混的,调大比例值,样品膜层厚度会变薄 不是变厚,其实代入式子2就会知道。
4l_!OUvt 反过来说,
W+k SL{0 如果发现波长长了,即样品膜层厚了,比例要调大(如果仅仅是比例因子的问题的话)。
qkPvE;" 如果发现波长短了, 薄 小 。