可用晶振片 6MHz mBQp#-1\
频率范围 5MHz~6MHz, g5\EVcHkz
频率分辨率 0.005Hz [yEH!7
频率稳定度 1ppm FxkxV GZ"
膜厚分辨率 0.002A ac2G;}B|
测量更新率 10Hz 3SeM:OYq]s
材料数 112 G2,9$8qE
膜系数 20, 可自动串接 BJL*Dihm[
可设定层数 112层/每膜系 ZQVr]/W^r
可控制蒸发源数 3个, 0~10V, 16bit k>'c4ay290
数字输入 8路兼容LVTTL,功能自定义 IHrG!owf
数字输出 10路常开继电器,功能自定义 TA~FP#.
探头数 1,支持六探头 /_?y]Ly[r
电源 90V~240V,AC, 20W av!'UZP
主机尺寸 XDM-3K 438*88*300 (mm,标准工业机柜宽, 2U高度, 深300mm) Mq#sSBE<K
控制方法 PID Q|CLis-
语言 多国语言(中、英、…) p
bT sn
通信接口 RS232