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    [讨论]OS-50薄膜热应力是 压应力还是拉应力 [复制链接]

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    离线zmcjzt
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2013-11-15
    如题,请问OS-50薄膜热应力是 压应力还是拉应力?
     
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    离线luffy17520
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    只看该作者 1楼 发表于: 2013-11-22
    是什么材料蒸发的啊 h&K$(}X  
    根据材料来算拉应力还是张应力
    离线zmcjzt
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    只看该作者 2楼 发表于: 2014-04-09
    回 luffy17520 的帖子
    luffy17520:是什么材料蒸发的啊 l+@;f(8}  
    根据材料来算拉应力还是张应力 (2013-11-22 13:04)  6Yn>9llo}=  
    ={;pg(  
    TI3O5    TI3O5        
    离线ouyuu
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    只看该作者 3楼 发表于: 2014-04-17
    OS-50是TiO2吧。应力也要看基板温度的。