[求助]如何计算材料的折射率 [复制链接]

  在蒸镀过程中材料的折射率怎样能够准确算出,我知道折射率跟真空度.沉积速率.充氧量有关,其它的还有吗?那如何计算,如TiO2.SiO2.Os50.SiO.ZrO2等,请各位大侠指教.谢谢!!!

蒸度镀过程中适时手动计算材料的折射率比较困难啊，个人认为必须测准适时的膜层厚度和反（透）射率，或者是在极值点处的反（透）射率，再利用公式进行计算，但感觉不怎么实用。现在的镀膜设备，已经可以自动计算并显示出适时的折射率了。 pp*bqY  
  折射率还和基片温度，沉积角度，膜层的微观结构有关。 j2< !z;2  
  折射率测量一个是用椭偏仪直接测量，一个是用分光光度计测单层膜在奇数个极值厚度处的反（透）射率，再用公式计算的间接测量。

能详细说下单层膜在奇数个极值厚度处透射率用公式计算的间接测量的过程么？？

就是就是,知道的,与大家分享一下啊

镀个较厚一点的单层膜，根据极值点（膜比基底折射率高的看极小值，膜比基底折射率低的看极大值，并且选取长波段的极值点，因为在长波段折射率色散小）估算出膜层的折射率，该点的反射率，根据薄膜光学原理，相当于单个四分之一光学厚度的膜厚（单层四分之一光学厚度的薄膜等效折射率为n^2/ng,n为膜的折射率，ng为基底折射率)的反射率。算出折射率后，再判断极值级次，根据这个级次就可算出膜厚。现在举一例子加深理解。 Kj~>&WU  
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此主题相关图片如下： k
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无法传图，大家可用TFC设计一个 Glass/6.451H/air的曲线对照着看，H的折射率为1.91，入射和出射介质均为air，主要为理解下面的分析用。 Paae-EmC  
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图中基底折射率为1.52，该曲线的透过率极大值是空白玻璃的透过率，说明镀的膜没有起增透作用，判断膜的折射率应该大于基底的折射率，所以我们要选极小值点的反射率来分析薄膜的折射率（选极大值等于在分析空白玻璃，因为是偶数个四分之一膜厚，等同虚设层），为选色散小的区域，可以找到最长波段的极小值为1184nm，透过率为80.08%。设空白基底的单面透过率为T1，镀有膜层侧的单面透过率为T2，总和透过率，也就是所测透过率为T，则有关系式1/T=1/T1 + 1/T2 - 1(大家可以自己推算，就是简单的等比数列叠加，可先算出R1，R2和R的关系式　R＝(R1＋R2－2R1R2)/(1-R1R2),然后用1-Rx代替Tx），在这儿T1=95.742%, T=80.08%, T2为未知数，代入后得出T2＝83.037%，于是R2＝1－T2＝16.963%，R2＝(n^2/ng-1)^2 / (n^2/ng +1)^2 ，n=sqrt(ng*(1+sqrt(R2))/(1-sqrt(R2) )=1.910，这就是膜层的折射率 WHlD%u  
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然后来算膜厚。首先判断透过率曲线的级次，在脑中要明确的是，当膜的折射率大于基底时，所有的极小值都是奇数个四分之一膜厚，当膜的折射率小于基底时，所有的极大值都是奇数个四分之一膜厚，根据前面分析，这儿当然是极小值啦。如果没有折射率色散，相邻两个极值之间　的波长位置的比值应为k/(k+1), k=1,3,5,7....(设第一个极值位置波长为λ1,相邻的另一个极值位置波长为λ2，这里假设λ2的级次高于λ1,所以λ1＞λ2，则kλ1/4=nd, (k+1)λ2/4=nd,两者比较后，就得出λ1/λ2=(k+1)/k )。我们来看891.0nm和1184nm这两个极值，1184/891=1.328，　所以判断k=3，于是根据kλ1/4=nd　有　d=kλ1/4n=3*1184/(4*1.91)=464.9nm。 g\ 8#:@at  
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说明：这种方法只是粗略地估计膜层的折射率和厚度，因为我们忽略了折射率的色散，也忽略了薄膜在沉积过程中的折射率非均匀性。要精确测量还是要通过带有修正因子的程序拟合，或且专门仪器测量。

谢谢楼上的 向您学习

支持4楼，说的真详细啊

厉害，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，

收获颇多  H3/Y  
不愧是高手阿 ！！！！！！！！！！！！！

很好！！！！！！！！！！！