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    [求助]如何控制膜层均匀性? [复制链接]

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    离线cxc0816
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2013-10-15
    咨询大家一个问题,在镀膜过程中如何控制膜层的均匀性,用zro2为例子讲解一下呗,谢谢
     
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    离线yzhuang
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    只看该作者 1楼 发表于: 2013-10-16
    修正挡板修正
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    只看该作者 2楼 发表于: 2013-10-21
    修正板一定要做好!
    离线flyinlove79
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    只看该作者 3楼 发表于: 2013-11-16
    修正挡板是比较好的选择
    离线crl0129
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    只看该作者 4楼 发表于: 2013-11-26
    修正板一定要做好!
    离线563508843
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    只看该作者 5楼 发表于: 2020-02-26
    1.修正版 z#BR5jF  
    2.转速 ;%tF58&  
    3.蒸发速率