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luffy17520:大机器有2中修正板,一种是基板左右的,每次做单腔来调整,还有就是基板挡板换成修正板,同理。 ='T<jV`evu 大机器还有离子源修正板,这个比较简单。 1Jc-hrN- 小机器为左右挡板,试验原理也是单腔 0wB ?U~ 波长长了就修掉一点,让ibs多多轰击即可 }E[S%W[ ....... (2013-11-21 15:53) oOBN
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