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luffy17520:大机器有2中修正板，一种是基板左右的，每次做单腔来调整，还有就是基板挡板换成修正板，同理。 }Gz~n f% 大机器还有离子源修正板，这个比较简单。 LrM=*R h,O 小机器为左右挡板，试验原理也是单腔 dx5#\"KX=, 波长长了就修掉一点，让ibs多多轰击即可 Fq~yL!#! ....... (2013-11-21 15:53) p{amC ;cI$
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