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luffy17520:大机器有2中修正板,一种是基板左右的,每次做单腔来调整,还有就是基板挡板换成修正板,同理。 {g 4`>^; 大机器还有离子源修正板,这个比较简单。 <07]w$m/ 小机器为左右挡板,试验原理也是单腔 " ~q~)T1Z 波长长了就修掉一点,让ibs多多轰击即可 \|C*b< ....... (2013-11-21 15:53) SN]Na<P
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