UID:318142
luffy17520:大机器有2中修正板,一种是基板左右的,每次做单腔来调整,还有就是基板挡板换成修正板,同理。 #Mz N7 大机器还有离子源修正板,这个比较简单。 b}[W[J}` 小机器为左右挡板,试验原理也是单腔 -l!;PV S| 波长长了就修掉一点,让ibs多多轰击即可 ?*Kewj ....... (2013-11-21 15:53) m_z1|zM}o
UID:326212