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    [讨论]真空镀膜产品放气对膜厚影响是怎么样的 [复制链接]

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    离线liyungang
    技术员
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2012-11-06
    镀膜样品放气量大小，对蒸发沉积速率和膜厚有什么影响呢？
     
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    离线563508843
    助理工程师
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    只看该作者 1楼 发表于: 2012-11-06
    真空改变，镀膜折射率改变
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    离线朱小朱
    实习生
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    只看该作者 2楼 发表于: 2012-12-18
    学习了 不够详细
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    离线拉比熊
    实习生
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    只看该作者 3楼 发表于: 2013-01-13
    如果是镀完就没有影响 iZ3%'~K<3J  
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    离线jiangguang
    助理工程师
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    只看该作者 4楼 发表于: 2013-02-26
    第一 真空不稳定 折射率会变 第二 产品牢固度不达标
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    离线crl0129
    技术员
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    只看该作者 5楼 发表于: 2014-10-27
    第一 真空不稳定 折射率会变 第二 产品牢固度不达标
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    离线raofengxiang
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    只看该作者 6楼 发表于: 2014-11-22
    是镀膜材料、基底材料放气，还是镀膜过程中止，向真空室充气。说的明白些才好回复
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    离线raofengxiang
    实习生
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    只看该作者 7楼 发表于: 2014-12-04
    至少有两个方面的影响，折射率和tooling值
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    离线meron
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    只看该作者 8楼 发表于: 2015-05-06
    学习了，谢谢各位分享
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    离线知识乞丐
    实习生
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    只看该作者 9楼 发表于: 2016-07-16
    除了基片清洁外，还真不知道其原
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