非球面透镜的面性检测,现在用的比较多的是加零镜,但是制造零镜要求过高。而且很多都是非球面。 Qa?QbHc
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下面介绍的方法是将面型的检测转化为对波前误差的检测,这样就比较简单了; $K=z
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在非球面检测中长借助于632.8nm波长的干涉仪进行检测。我们设计非球面透镜大多不是以这个波长设计的,而且即使是在这个波长设计的,单个非球面成像的波相差也不一定就好(很多是系统中的一部分),这样的话我们需要想办法让这个非球面在632.8nm波长下的波前误差很好。这样我们只要检测透过镜子的波前误差来检测非球面的好坏;有两种方法:
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1.做工艺球面:此方法只适合于有一个非球面的透镜,首先将设计好的非球面输入到光学设计软件中固定不变,然后对透镜另一个面(球面)进行优化使该透镜在632.8nm波长下成像质量,波相差最好,(这里设计的透镜的厚度要比原设计稍厚,保证工艺球面不与原先的球面有交叉),该球面成为“工艺球面”,这样首先加工出来这个工艺球面,然后加工非球面,使用632.8nm干涉仪直接检测,直至成像质量(波前差)满足要求,最后再将另一面加工成所要的球面,这样整个透镜就加工完毕。 2o}8W7y
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2.加补偿镜:加补尝镜的方法比较简单,设和大批加工。该方法是设计一球面透镜作为补偿镜,使该球面透镜与非球面透镜组合成一个系统,该系统在632.8nm波长下成像质量非常好。检测整个系统的成像质量来推断非球面的质量。为保证非球面加工质量,需要对球面透镜提出要求要严格(球面镜好加工)。 7eH@n<]Y2
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补偿镜比工艺球面的使用范围广泛,因为工艺球面只有一个球面优化的空间不足。结合工艺球面和加补偿镜两种方法可以加工双非球面透镜(两个面都是非球面的透镜)。具体大家可以自己发挥! Q2R>lzB