非球面透镜的面性检测，现在用的比较多的是加零镜，但是制造零镜要求过高。而且很多都是非球面。 WsoB! m
vxgm0ZOMN
下面介绍的方法是将面型的检测转化为对波前误差的检测，这样就比较简单了； 9O)>>1}*S
7KEGTKfW
在非球面检测中长借助于632.8nm波长的干涉仪进行检测。我们设计非球面透镜大多不是以这个波长设计的，而且即使是在这个波长设计的，单个非球面成像的波相差也不一定就好（很多是系统中的一部分），这样的话我们需要想办法让这个非球面在632.8nm波长下的波前误差很好。这样我们只要检测透过镜子的波前误差来检测非球面的好坏；有两种方法： ?=vwr,ir
{> }U>V
1.做工艺球面：此方法只适合于有一个非球面的透镜，首先将设计好的非球面输入到光学设计软件中固定不变，然后对透镜另一个面（球面）进行优化使该透镜在632.8nm波长下成像质量，波相差最好，（这里设计的透镜的厚度要比原设计稍厚，保证工艺球面不与原先的球面有交叉），该球面成为“工艺球面”，这样首先加工出来这个工艺球面，然后加工非球面，使用632.8nm干涉仪直接检测，直至成像质量（波前差）满足要求，最后再将另一面加工成所要的球面，这样整个透镜就加工完毕。 M]2 c -
$ D89|sy
2.加补偿镜：加补尝镜的方法比较简单，设和大批加工。该方法是设计一球面透镜作为补偿镜，使该球面透镜与非球面透镜组合成一个系统，该系统在632.8nm波长下成像质量非常好。检测整个系统的成像质量来推断非球面的质量。为保证非球面加工质量，需要对球面透镜提出要求要严格（球面镜好加工）。 (-#{qkA
m&\Gz *)3
补偿镜比工艺球面的使用范围广泛，因为工艺球面只有一个球面优化的空间不足。结合工艺球面和加补偿镜两种方法可以加工双非球面透镜（两个面都是非球面的透镜）。具体大家可以自己发挥！ T;% SB&
