1.前言
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X@I8+v yH]w(z5Z 现代科学技术所使用的硬脆材料，如单品硅、功能材料、陶瓷、宝石和
光学玻璃等，对这些材料进行超精密加工，并获得很好的面形
精度和超光滑表面部是很难的。近代刚刚趋于成熟的金刚石切削技术对此也无能为力。
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!qTP 解决这些材料的加工问题还是不断改进的传统工艺方法，或是在传统工艺方法上又加入新的工艺手段，因为科学的发展对加工精度和表面质量的要求愈来愈高，传统工艺方法已经很难应付了。对硬脆材料实行超精密加工并不断的提高加工精度，提高加工效率，是我们设法回避的问题，为此人们把不同的
物理过程、不同的化学过程应用于加工工艺中，如离子束加工是一种非常好的加工方法，离子束
抛光可达到很高的水平，但这项技术的开展工作需要很多的资金投入和做深入的研究工作。本文从另外角度考虑问题，从改变加工环境温度考虑问题。在金刚石超精密加工技术的发展过程中，就有人研究过金刚石低温切削技术5，出现了一些新现象，例如在低温条件下，金刚石可切削黑色
金属并获得很好的表面质量。那么，在低温状态下，对
光学材料进行抛光，又会产生那些新现象，是否能提高加工精度和加工效率，我们通过实验作了一定程度的探讨，下面简述之。
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