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    [求助]关于Ta2O5用于三层增透膜时 [复制链接]

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    离线dede
    助理工程师
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2012-02-15
    关键词： 增透膜
    Ta2O5用于三层增透膜时，零件发黄，吸收大，其镀时参数是250度，速度为3埃/秒，充氧1E-2，2E-2，均试过，请教过很多高手，好象均无有良策？
     
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    离线laohu0504
    实习生
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    只看该作者 1楼 发表于: 2012-10-16
    解决问题了没有呢?  可以联络laohu0504@163.com FgE6j;   
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    离线dede
    助理工程师
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    只看该作者 2楼 发表于: 2012-10-23
    现在不用TA2O5了，用H4代替 hx+a.N  
    MM|&B`v@;  
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    离线jiangguang
    助理工程师
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    只看该作者 3楼 发表于: 2013-06-15
    什么高手啊都 加离子源 ul(1)q^  
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    离线crl0129
    技术员
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    只看该作者 4楼 发表于: 2013-11-21
    学习一下！！
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    离线dididida
    实习生
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    只看该作者 5楼 发表于: 2019-11-05
    大虾，还在吗？我最近也是做了一个用SIO2+TA2O5 9层结构并且最外层加MGF2的增透膜系，加热工艺，温度270，速率2.5-3.5，也是遇到了380nm附近一段吸收很大的问题，想请教一下你之前的这个问题是有解决吗？可以给我点意见吗
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