[讨论]折叠式光刻物镜 [复制链接]

看看了

bruce45:看看了(2013-02-04 12:12)嬀/color] cm_5,wB(w  

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欢迎讨论！

请问 您主要从哪些方面来评价像质的呢？ YY:{/0?  
您的设计指标中 对像质是如何要求的？ nW"O+s3  
另外NA不到0.1是指物方的么？还是像方？

darkwzj:请问 您主要从哪些方面来评价像质的呢？ P?f${t+  
您的设计指标中 对像质是如何要求的？ ><D2of|  
另外NA不到0.1是指物方的么？还是像方？ (2013-04-17 20:43)  iTq&h=
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像质的评价标准就那么几个。点列图 mtf   或者可以看一下psf Jh=.}FXnjL  
这个系统时要做到衍射极限的，看点列图没太大意义。看mtf和衍射极限就行了。 9/e>%1.  
na我也记不清楚是哪方的了。很早之前做的了

phoenixzqy:像质的评价标准就那么几个。点列图 mtf 或者可以看一下psf cq?,v?m  
这个系统时要做到衍射极限的，看点列图没太大意义。看mtf和衍射极限就行了。 qF$y p>|#  
na我也记不清楚是哪方的了。很早之前做的了(2013-04-17 20:48)嬀/color] aWRi`poZT
 

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感谢回答~

darkwzj:感谢回答~ (2013-04-17 21:29)  f$5pp=s:n  

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客气 常交流

学习学习~

瞎搞的，帮一个学生做的。

学习下，谢谢        

好帖子，学习了