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    [求助]MGF2冲氧镀膜好还是不冲氧镀膜好啊？ [复制链接]

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    离线12511895
    助理工程师
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2011-12-31
    关键词： MGF2冲氧镀膜
    小弟想知道MGF2冲氧镀好还是不冲氧镀好啊！能说说它好在那里和不好在那里！谢谢！
     
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    离线louyc
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    只看该作者 33楼 发表于: 2013-05-21
    一般不用充氧气呀
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    离线ken_jinyan1
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    只看该作者 32楼 发表于: 2013-04-25
    MGF2 低温镀膜不知道牢固度怎样，昨天做的实验MGF2单层，温度90度， Ev [?5R  
    离子源冲氩气，测量结果，膜层变厚， TOOLING变大了。 PlA#xnq#  
    "10\y{`v^  
    个人感觉，使用离子源后膜层致密了，膜层应该变薄，和我想的正相反。
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    离线ken_jinyan1
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    只看该作者 31楼 发表于: 2013-04-23
    100度，镀MGF2，不用离子源，结合力是个问题
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    离线chienmin
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    只看该作者 30楼 发表于: 2013-04-17
    沒看過MgF2製程充氧的～不需要充氧氣
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    离线aegeon
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    只看该作者 29楼 发表于: 2013-04-16
    SiO2需要IAD吗
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    离线luffy17520
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    只看该作者 28楼 发表于: 2013-04-12
    回 ken_jinyan1 的帖子
    ken_jinyan1:我这里有个问题，MGF2不充氧是没错的。那能不能在100℃以下，开离子源（充氩气）镀？ ,TB$D]u8  
    怎么光驰的人说MGF2不能用离子源呢？(2013-04-02 11:54)嬀/color] N Mx:Jh-YN  
    {9XNh[NbP  
    还是不用离子源比较好
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    离线ken_jinyan1
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    只看该作者 27楼 发表于: 2013-04-02
    我这里有个问题，MGF2不充氧是没错的。那能不能在100℃以下，开离子源（充氩气）镀？ +.|RH  
    怎么光驰的人说MGF2不能用离子源呢？
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    离线chen1858
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    只看该作者 26楼 发表于: 2013-04-01
    学习了，感谢
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    离线luffy17520
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    只看该作者 25楼 发表于: 2013-03-31
    不能充氧吧
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