切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • ZEMAX光学系统设计实战 Zemax光学设计从基础到实践 成像衍射光学元件设计及应用 现代光学与光子学技术
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 2477阅读
    • 0回复

    [下载]中频磁控溅射制备GaN薄膜 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线chenchao
    实习生
     
    发帖
    61
    光币
    238
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2011-12-18
    关键词： 磁控溅射薄膜
    中频磁控溅射制备GaN薄膜摘要：采用中频磁控溅射技术，以金属 Ga 为靶材料，在 Si(111)衬底上形成了 GaN 薄膜，研究了溅射压强、衬底温度等对GaN薄膜结构和成分的影响。发现沉积气压为0.4~1.0 Pa 时，薄膜呈GaN(002)取向，气压大于1.0 Pa 和小于0.4 Pa 时，用 X 射线衍射方法难以观察到GaN(002)的衍射峰。X射线能谱分析表明在最佳实验 m4W (h6  
    条件下制备的GaN薄膜的元素比Ga:N为1:1。 #t1? *4.p  
    SJ22  
    关键词：中频磁控溅射；GaN；X射线衍射；沉积速率
    附件: 中频磁控溅射制备GaN薄膜.rar (1059 K) 下载次数:3 ，售价:2光币[记录]
    共1条评分 ，光币+5
    cyqdesign 光币 +5 - 2011-12-18
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表