切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 2716阅读
    • 0回复

    [下载]直流磁控溅射在铝衬底上沉积(TixAly)N薄膜及其性能研究 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线chenchao
     
    发帖
    61
    光币
    238
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2011-12-18
    直流磁控溅射在铝衬底上沉积(TixAly)N薄膜及其性能研究摘要:本文利用独立钛靶 ,在衬底6063铝合金表面镀覆了一层氮化物薄膜。借助于 X射线衍射仪对薄膜的相组成进行分析 ,利用薄膜测厚仪和显微硬度计对薄膜的厚度和硬度进行测量 ,通过光学金相显微镜及场发射扫描电子显微镜 ,观察薄膜的微观组织及薄膜质量。通过观测发现 ,以独立钛靶在铝衬底表面可以生成(TixAly)N薄膜。薄膜可以强化合金的表面、 增加合金的表面硬度。薄膜上的硬度压痕周围没有发现放射状的裂纹 ,表明薄膜与衬底结合良好。通过 SEM观察发现薄膜有 v=4TU \b%  
    良好的颗粒均匀性、 致密性和表面平整度。 CUG6|qu  
    QZ6M,\  
    关键词:磁控溅射;(Ti Al )N;薄膜;性能
    1条评分光币+5
    cyqdesign 光币 +5 - 2011-12-18
     
    分享到