直流磁控溅射在铝衬底上沉积(TixAly)N薄膜及其性能研究摘要：本文利用独立钛靶 ,在衬底6063铝合金表面镀覆了一层氮化物薄膜。借助于 X射线衍射仪对薄膜的相组成进行分析 ,利用薄膜测厚仪和显微硬度计对薄膜的厚度和硬度进行测量 ,通过光学金相显微镜及场发射扫描电子显微镜 ,观察薄膜的微观组织及薄膜质量。通过观测发现 ,以独立钛靶在铝衬底表面可以生成(TixAly)N薄膜。薄膜可以强化合金的表面、 增加合金的表面硬度。薄膜上的硬度压痕周围没有发现放射状的裂纹 ,表明薄膜与衬底结合良好。通过 SEM观察发现薄膜有 tc.R(F96
良好的颗粒均匀性、 致密性和表面平整度。 SBg BZm}%
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关键词：磁控溅射；(Ti Al )N；薄膜；性能
