碳含量对磁控溅射Cr /C镀层摩擦磨损性能的影响摘要：采用磁控溅射技术在高速钢和单晶硅基体上制备 Cr/C镀层 ,利用 X射线衍射仪和 X射线光电子能谱仪分析镀层结构及元素状态 ,采用显微硬度计测量镀层的硬度及韧性 ,通过销 2 盘式摩擦磨损试验机及光学显微镜研究镀层不同磨损阶段的磨损行为.结果表明:镀层由 C、 Cr及 Cr 3C2等相组成;随着碳含量增加 ,镀层的硬度从 HV1 300升至HV1 900,韧性变差;与未镀层的基体相比 ,镀层的摩擦系数从 0 . 70降至 0 . 48,当碳含量为 74%时 ,摩擦系数降至 0 .35;增加碳含量能够明显改善镀层的抗黏着性能 ,碳含量为 14%及 40%的镀层以严重的黏着磨损为主 ,而碳含量为74%镀层的黏着程度最轻 ,其磨损形式以黏着磨损和磨粒磨损为主. Os-Z_zSl6
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关键词：Cr /C镀层；铬碳化合物；摩擦磨损性能
