钛合金表面磁控溅射制备HA/ YSZ梯度涂层摘要：采用射频磁控溅射法在 Ti6Al4V 基体上制备了 HA/ YSZ生物梯度涂层。借助于 XRD ,SEM ,EDS等对溅射涂层的相组成、 微观形貌和界面状态进行了研究。实验结果表明:磁控溅射的生物梯度涂层呈非晶态 ,经过退火处理 ,可以使其转化为晶态 ,恢复缺失的 OH- 1;梯度涂层的微观表面凹凸不平 ,并呈现网状结构和较多的孔隙 ,后处理仍保持梯度涂层利于新骨生长的表面形貌 ,并使其转变为针状结晶。HA/ YSZ梯度涂层与基体结合紧密 ,在涂层与基体界面结合处约 5. 0μm范围内存在 Ti ,Ca ,P ,Zr 的相互扩散层 ,梯度涂层与基体的界面结合强度达 60. 5MPa。 'w1ll9O
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关键词：HA 梯度涂层；射频磁控溅射；微结构；结合强度
