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    [原创]均匀性的修正 [复制链接]

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    离线xit
    实习生
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    只看该作者 40楼 发表于: 2012-12-03
    路过，看看
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    离线ken_jinyan1
    技术员
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    只看该作者 41楼 发表于: 2012-12-03
    均与性调到5nm以下，如何？
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    离线copland
    高级工程师
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    只看该作者 42楼 发表于: 2012-12-17
    调整均匀性挡板，上下，形状都会影响均匀性，理论计算就不会了
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    离线hjstar
    技术员
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    只看该作者 43楼 发表于: 2012-12-30
    通过调节挡板和挂环 *@ \LS!N
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    离线陶月天
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    只看该作者 44楼 发表于: 2013-01-10
    通过补正板的适当调整，可以解决。具体要看曲线的形状，具体分析。
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    离线拉比熊
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    只看该作者 45楼 发表于: 2013-01-13
    通过调节挡板和挂环
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    离线jingjing520
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    只看该作者 46楼 发表于: 2013-01-22
    调节补偿挡板
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    离线zmduan
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    只看该作者 47楼 发表于: 2013-02-04
    1,先镀一锅无修正板的,测试片要记好顺序,测出数据( 用一种膜料试) rMUT_^  
    2,再镀一锅有修正板的,修正板长方最好是长方形,测试片要记好顺序,测出数据, Nkp)Ax&  
      (顺序出错很重要,不能出错),  w~ [b*$  
    3,根据1,2的数据,算出各个位的修正因子 '1$!jmY  
    4,再根据2的数据和各个位的修正因子,修改修正板,用改好的板再镀,测出数据 D<Z p!J1o  
    5,看数据的一致性好不好,好了就OK,不好,再根据4的数据和各个位的修正因子,修改修正板,用改好的板再镀,测出数据, oI.G-ChP  
    6,重复直到OK
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    离线zmduan
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    只看该作者 48楼 发表于: 2013-02-04
    这是一个朋友教我的, i:Zm*+Gi  
    不清楚的加我QQ:398616130
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    离线zmduan
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    只看该作者 49楼 发表于: 2013-02-04
    找到修正板和对应位的方法: &R$CZU  
    1,拉线法,坩埚中心到对应位中心拉线,对应的修正板位置就是对应位遮挡线,用此法找出每一个位在修正板遮挡线的位置,对应位置的宽度就是计算的依据 ~j-cS J3  
    2,光线法,坩埚中心放一个小灯泡,对应位中心被修正板遮挡的位置就是对应位遮挡线,找出每一个位
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