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    [求助]MDC360不稳定 求助 [复制链接]

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    离线sy830608
    实习生
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2011-09-07
    关键词： 镀膜速率膜厚电子枪
    求助大家 MDC360 镀膜过程中电子枪稳定360控制仪速率大范围抖动，挡板关闭速率仍在显示，膜厚显示增加，该如何解决？
     
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    离线wlei781
    技术员
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 2011-09-08
    到机台顶上在晶控接入机台的位置轻轻敲几下。
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    离线aaoe
    助理工程师
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    光券
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    只看该作者 2楼 发表于: 2011-10-12
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                路过看看。
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