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    [分享]现代薄膜材料与技术 蔡珣 [复制链接]

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    离线gpx007
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    只看该作者 10楼 发表于: 2011-07-29
    这个好不好啊,看看了,支持
    离线cr6808739
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    只看该作者 11楼 发表于: 2011-07-29
    正在学习中   
    离线lm341403
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    只看该作者 12楼 发表于: 2011-08-02
    谢谢分享!!!!!!!!!!!!!!
    离线jackieshejie
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    只看该作者 13楼 发表于: 2011-08-02
    先看看
    离线cxb007007
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    只看该作者 14楼 发表于: 2011-08-06
    好东西
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    只看该作者 15楼 发表于: 2011-08-11
    .空心阴极离子镀原理 :IlRn`9X`  
    在本底真空为高真空的条件下,由阴极中通入氩器气(1-10-2) 6SI`c+'@5  
    在阴极与辅助阳极之间加上引弧电压,使氩气发生辉光放电,在空心阴极内产生低压等离子体放电,阴极温度升高到2300-2400K时,由冷阴极放电转为热阴极放电,开始热电子发射,放电转为稳定状态。通入反应气体,可以制化合膜。 z )s{>^D  
    [y-0w.V=oE  
    2.测控溅射工作原理 s\y+ xa:  
    3>Y G  
    先将真空室预抽至10-3Pa,然后通入气体(如氩气),气压为1-10 Pa时,给靶加负电压,产生辉光放电,电子在电场正作用下加速飞向基片时,与氩原子碰撞,电离出Ar和另一个电子; " 2A`M~  
    轰击靶材,由二次电子电离的 越来越多,不断轰击靶材;磁场改变电子的运动方向,以电磁场束缚和延长电子的运动轨迹,从而提高电子对工作气体的电离几率。 A]L;LkEM  
    Fka&\9i  
    3.多弧离子镀工作原理 RAYDl=}  
    JX8Hn |  
    其工作原理为冷阴极自持弧光放电,其物理基础为场致发射。 ;U=IbK*  
    被镀材料接阴极,真空室接阳极,真空室抽为高真空时,引发电极启动器,接触拉开,此时,阴极与阳极之间形成稳定的电弧放电,阴极表面布满飞速游动的阴极斑,部分离子对阴极斑的轰击使其变成点蒸发源,以若干个电弧蒸发源为核心的为多弧离子镀。 J}U);A  
    9Jd{HI=  
    4.电阻蒸发式镀膜机 C"}CD{<H]M  
    1Z%^U ?  
    膜材即要镀的材料放于蒸发舟中,置于真空室中,抽到一定真空时,通过电阻加热膜材,使其蒸发,当蒸发分子的平均自由程大于蒸发源至基片的线性尺寸时,原子和分子从蒸发源中逸出后,到达基片形成膜。为了使膜厚均匀,可以利用电机带动基片旋转,并用膜厚仪控制膜厚,制出优质膜。 s ;EwAd(  
    j3 ,6U jlU  
    5.E型枪工作原理 soh)IfZ  
    Gx /sJ(  
    阴极灯丝加热后发射具有0.3    EV初动能的热电子,这些热电子在灯丝阴极与阳极之间的电场作用下加速并会聚成束状。在电磁线圈的磁场中,电子束沿E x B的方向偏转,通过阴极时,电子的能量提高到10KV,通过阳极电子偏转270度角而入射坩埚内的膜材表面上,轰击膜材使其蒸发。 n6 D9f~8"  
    eH,r%r,  
    6.PCVD镀膜工作原理 =?g26>dYo  
    ,{==f7|w  
    将被镀件放在低压辉光放电的阴极上,通入适当气体,在一定温度下,利用化学反应和离子轰击相结合的过程,在工件表面获得涂层。
    离线zhangkong
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    只看该作者 16楼 发表于: 2011-08-28
    不要说我啊
    离线ww04010911
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    只看该作者 17楼 发表于: 2011-10-30
    浏览一下  饿
    离线ww04010911
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    只看该作者 18楼 发表于: 2011-10-30
    回复 mL\_C9k,n  
    三大非常va
    离线ww04010911
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    只看该作者 19楼 发表于: 2011-10-30
    好好学习一下