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    [求助]关于接触式光刻机的一些问题~~ [复制链接]

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    离线snowwolf_upc
    高级工程师
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2011-06-17
    关键词： 光刻机光学资料曲面塑料
    大家好，不知道有谁有一些接触式光刻机的资料，接触式光刻机能否用来加工光学塑料曲面上的二元光学面？哪位高手能否给一些详细解答？？多谢多谢了~~~
     
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    离线snowwolf_upc
    高级工程师
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    只看该作者 1楼 发表于: 2011-06-17
    木有人知道或了解么？
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    离线snowwolf_upc
    高级工程师
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    只看该作者 2楼 发表于: 2011-06-17
    好像有点懂了，应该就是指掩模板与光刻胶相接触的一种光刻方法~~~
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    离线matie
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    只看该作者 3楼 发表于: 2011-06-17
    接触式光刻多数加工平面吧，塑料曲面上涂胶？
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    离线snowwolf_upc
    高级工程师
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    只看该作者 4楼 发表于: 2011-06-17
    回 3楼(matie) 的帖子
    那如果要加工塑料曲面上的二元光学面，是不是只能用金刚石切削法进行加工？如果是的话，金刚石切削法最低能加工多少个数量级？望解答~~~
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