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    [求助]什么是双离子束溅射薄膜沉积，它有什么优势 [复制链接]

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    离线opturn_yang
    实习生
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2011-05-14
    关键词： 原理薄膜抛光
    请教大家双离子束溅射薄膜沉积的原理是什么啊，听说离子束还能抛光，请大家赐教。 &nBa=Enf  
     
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    离线wd94
    实习生
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    只看该作者 1楼 发表于: 2011-06-05
    就是一个溅射一个辅助 代表机型有VEECO
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    离线wd94
    实习生
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    光券
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    只看该作者 2楼 发表于: 2011-06-05
    优点是膜层的致密性好点
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