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    [论文]投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计.PDF [复制链接]

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    离线200713
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2011-05-09
    摘要:离轴照明作为一种重要的分辨率增强技术被广泛地应用于投影光刻系统。使用衍射光学元件( DOE) 作为光刻照明系统的光束整形器件, 能够在保持较高照明效率的基础上精确控制离轴照明光束的形状及光强分布。本文利用基于傅里叶变换的分步迭代方法, 优化设计了该类衍射光学元件( DOE) 。DOE采用了多台阶位相结构, 设计所得8台阶DOE设计结果分别实现了偶极、 四极、 环形及B u l l s  E y e等照明方式, 其照明效率都达到了8 0%以上, 与目标光强分布的均方根偏差均<7%。 . 1+I8qj  
    dmWCNeja.  
    关键词: 衍射光学元件; 投影光刻; 分辨率增强; 照明; 光束整形
    附件: 投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计.rar (1615 K) 下载次数:58 ,售价:2光币[记录]
     
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    离线faithfulfans
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    只看该作者 1楼 发表于: 2011-08-20
    Thanks for sharing.....
    离线mang2004
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    只看该作者 2楼 发表于: 2011-08-20
    多谢分享。
    离线夜之赞歌
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    只看该作者 3楼 发表于: 2011-11-07
    感谢分享
    离线lcc1017
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    只看该作者 4楼 发表于: 2011-11-23
    赶紧下载 3@qv[yOE  
    离线alvons
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    只看该作者 5楼 发表于: 2012-03-31
    赶紧下载
    离线bruce45
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    只看该作者 6楼 发表于: 2013-02-04
    看看,多谢
    离线西河
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    只看该作者 7楼 发表于: 2013-03-07
    看看,多谢! fj;ZGbg-O  
    离线chengzheng
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    只看该作者 8楼 发表于: 2013-08-31
    学习下,谢谢        
    离线chengzheng
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    只看该作者 9楼 发表于: 2014-01-07
    谢谢楼主分享